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Apex霍尼韋爾在線監(jiān)測儀
量程
序號 檢測氣體類型 分子式 量程 1 可燃性氣體 0-10%LEL/0-100%LEL 2 氨氣 NH3 0-50/100/400/1000ppm 3 砷化三氫/胂 AsH3 0-0.2ppm 4 三氯化硼 BCl3 0-6ppm 5 溴 BR2 0-0.4ppm 6 一氧化碳 CO 0-100/200/500ppm 7 氯氣 Cl2 0-2/5/15ppm 8 二氧化氯 ClO2 0-0.4ppm 9 硼乙烷 B2H6 0-0.4ppm 10 二氯甲硅烷 SiH2Cl2 0-10ppm 11 環(huán)氧乙烷 C2H4O 0-50ppm 12 氟 F2 0-4ppm 13 鍺烷 GeH 0-0.8ppm 14 氫氣 H2 0-1000ppm 15 溴化氫 HBr 0-12ppm 16 氯化氫 HCl 0-20ppm 17 氰化氫 HCN 0-20ppm 18 氟化氫 HF 0-12ppm 19 硫化氫 H2S 0-15/20/50/100ppm 20 一氧化氮 NO 0-100ppm 21 二氧化氮 NO2 0-12ppm 22 氧氣 O2 0-21%V/V 23 臭氧 O3 0-4ppm 24 磷化氫 PH3 0-1.2ppm 25 硅烷 SiH4 0-20ppm 26 環(huán)氧丙烷 C3H6O 0-50ppm 27 二氧化硫 SO2 0-8/15/50ppm
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